日本結晶成長学会
バルク成長分科会
会員各位殿
日本結晶成長学会
バルク成長分科会幹事長 柿本 浩一
第61回研究会開催のお知らせ
会員の皆様におかれましては、ますますご活躍のこととご推察申し上げます。
このたび、当分科会の第61回研究会を開催いたします。テーマは「「次世代シリコン結晶の可能性」で, シリコン結晶を使った次世代デバイスやそのための結晶品質、結晶特性に関して議論していただければと思います。多くの会員の皆様のご出席およびご討論をお願いしたく、ご案内申し上げます。
- 記 -
〒380-8553 長野市若里4丁目17番1号
TEL:026−269−5620(事務室)
FAX:026−269−5630
詳しくは信州大学 地域共同研究センターのホームページ
13:30〜14:10 「歪SiおよびSOIウェーハの電気的評価技術」
中島 寛1)、 王 冬1)、二宮正晴2)、中前正彦2)
1)九州大学 産学連携センター、2)三菱住友シリコン
14:10〜14:50 「歪Si/SiGeへテロ構造への接合形成技術」
杉井伸之1)、森岡純2)、入枝重文2)、石戸谷洋平2)、
稲田太郎2) 1」日立製作所 中央研究所, 2) 法政大学工学部
14:50〜15:30 「酸化濃縮法によるSGOI基板作製技術−高移動度チャネルCMOSへの適用」
手塚 勉1)、中払周1)、杉山直治1)、臼田宏治1)、平下紀夫1)、
田邊顕人1)、守山佳彦1)、高木信一1,2)、宮村佳児3)、豊田英二4)、
1)MIRAI-ASET、2) 東京大学大学院、3)コマツ電子金属、4)東芝セラミックス
15:30〜15:50 -- 休憩 --
15:50〜16:30 「半導体シリサイドのエピタキシャル成長と光デバイスへの応用」
末益 崇1)、 長谷川文夫1,2)
1)筑波大学物理工学系 2)現 工学院大学電子工学科
16:30〜17:10 「スピンエレクトロニクス −シリコン技術との融合へ向けて−」
田中雅明、菅原聡、李国梁
東京大学工学系研究科
研究会終了後、会場近くにて懇親会(参加費2500-3000円)を予定しています。是非ご参加ください。
渡辺 匡人
学習院大学 理学部
TEL:03-3986-0221(内6459), FAX:03-5992-1029, E-mail:masahito.watanabe@gakushuin.ac.jp
干川 圭吾
信州大学 教育学部
TEL:026-237-6128, FAX:026-237-6128, E-mail:khoshi1@gipnc.shinshu-u.ac.jp
柿本 浩一
九州大学 応用力学研究所
TEL:092-583-7741, FAX:092-583-7743, E-mail:kakimoto@riam.kyushu-u.ac.jp